Инновационный альянс
Наши Достижения
- получены результаты по физико-химическим основам технологии и механизмам процессов ХМП (химико-механическое финишное полирование) различных материалов;
- разработаны технологии ХМП аморфными коллоидными композициями ряда новых материалов (Cu, CuW, W, композитов (AlN, на основе нанопористого SiO2 и др.), ZnO для У