эллипсометр, реактивно-ионное травление, плазменное осаждение, метрология тонких пленок, диффузионный печи, фотолитография

Лазерные эллипсометры

SE 400adv – HeNe лазер, длина волны 632.8 нм, диапазон измерений от 1 – 6000 нм. CER SE 500adv – комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр. Диапазон измерений: 1 – 25000 нм.

Спектроскопические эллипсометры для исследований (UV-VIS-NIR-IR) (измерение толщин и оптических показателей одно- и многослойных пленочных структ